SJ 20518-1995 压电器件用五氧化二钽薄膜规范
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ID： |
FCC7270C8F5549638560DF0401BA6F65 |
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文件大小(MB)： |
0.5 |
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页数： |
8 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和电子行业军用标准,FL5971 SJ 20518-1995,压电器件用五氧化二锂薄膜规范,Specification for TazOs films for use in piezoelectric devices,1995-05-25 发布1995-12-01 实施,中华人民共和国电子工业部批准,中华人民共和国电子行业军用标准,压电器件用五氧化二锂薄膜规范,SJ 20518-1995,Specification for Ta26 films for use in piezoelectric devices,范,1.1 主题内容,本规范规定了五氧化ゴ留(TazOs)压电晶体膜的要求,质量保证规定和检验方法,1.2 适用范围,本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二留压电晶体膜,1.3 规格表示法,M J Ta2Qs X X,膜的厚度(精确到十分位),五氧化二留,葩体,膜,2引用文件,GB 11312—89,GB/T 12634—90,GJB 179—86,GJB 360 .1—87,GJB 360.3—87,GJB 360.7—87,压电陶瓷材料和压电晶体声表面波性能测试方法,压电晶体电弹常数测试方法,计数抽样检査程序及表,电子及电气元件试验方法,电子及电气元件试验方法,电子及电气元件试验方法,总则,稳态湿热试验,温度冲击试验,3要求,3.I 原材料,金属留(Ta):纯度不低于99.90% ;,氧气(5):纯度不低于99.20%,3.2 衬底,应满足声表面波器件制作技术エ艺要求,3.3 化学性能,中华人民共和国电子工业部!995-05-25 1995-12-01 实施,1,SJ 20518—1995,五氧化二留膜不溶于磷酸、硝酸、盐酸、浓硫酸及王水,化学稳定性强,但溶于氢氟酸,3.4,3.5,3.6,密度,密度约为8.015g/cn?,附着力,五氧化二铝膜与衬底间的附着力按4.6：3试验后应无脱落,外形尺寸,衬底表面长度L:不大于30mm、宽度b:不大于20mm;膜厚れ0.5-20.0pmo,3.7 表面质量,五氧化二铝膜表面应光亮、乳白色、无划痕、无裂纹、无针孔,3.8 X轴垂直取向度,五氧化二包膜的分散度:2び46ヽ,五氧化二包膜的偏离度:MV1,3.9结构,五氧化二坦膜横断面为垂直取向性纤维柱状结构,3.10 介电、压电、弹性常数,见表1,表1 TazOs晶体膜介电、压电、弹性常数,相对介电常数弹性常数,符号数值,41.010.2,19.510.2,式J %,eL/eo,品/% 39.110.1,16.310.2,_数_值,1.66210.001,1.22710.001,2.14810.002,0.56910.001,单位,10llN/m2,数 值单位,e11 1.81410.001,e12 -0.35410.001,e26 1.2710.02,c/m2,3.11 声表面波性能,以熔融石英为衬底的五氧化二铤膜结构的声表面波性能应符合图1的规定,(,常=,2,X,hk =2nt/X, A一声波长,t一丁改。5膜厚度,图1五氧化二包膜/熔融石英结构机电耦合系数K《、相连Vp与膜厚hk的关系曲线,3.12 温度冲击（必要时）,五氧化二包压电晶体膜按4.6.10规定试验,应无开裂,无裂纹和脱落等物理损伤,3.13 稳态湿热（必要时）,五氧化二留压电晶体膜随器件按4.6.11规定试验后,应无起泡、无裂纹等物理损伤,~* 2,SJ 20518—1995,4质鑽保证规定,4.I检验责任,除合同或订单另有规定外,承制方应负责完成本规范的所有检验。必要时,订购方或上级,. . I,鉴定机构有权对规范所述的任一检验项目进行检査,4 2检验分类,本规范规定的检验分类为:,a.鉴定检验;,b.质量一致性检验,4.3 检验条件,除另有规定外,所有检验应在GJB 360.1 “通用要求”中所规定的试验的标准大气条件下,进行,4.4 鉴定检验,鉴定检验应在有关主管部门认可的实验室进行,所用样本单位（样品）应是生产中通常使,用的设备和工艺所生产的产品,4.4.I 样本大小,提交检验的五氟化二包压电晶体膜样本大小应为15片,4.4.2 检验程序,样本经受表2规定的检验,并按所示顺序进行。所有样本单位应经受1组检验,然后将样,表2鉴定检验,本按表2规定分到2组、3组经受检验,检验项目,■,要求,ゝ,条款号,试験方法,条款号,受试,样品数,允许不合,格品数,1组,r,外形尺寸,表面质量,3.6,3.7,464,4.6.5,15 1 0■,■,2,X轴垂直取向度,压、弹、介常数声表,面波性能,3.8,3.10,3.11,4.6.6,4.6.8,4.6.9,2 ■ 0,附着力3.5,■ ,463 2 0,结构3.9 4.6.7 1 0,组,密度3.4 4.6.2 1 0,化学性能3.3 4.6.1 1 0,3,组,温度冲击,稳态湿热,3.12,3.13,4.6.10,4.6.11,4 1,4.4.3合格判据,r,不合格品数超过表2的允许不合格品数时,则鉴定检验不合格,不能给予鉴定批准,4.4.4 鉴定合格资格的保持,为了保持鉴定合格资格,承制方应在每隔十二个月向鉴定机构提交一份报告。鉴定机构,3,SJ 20518—1995,"H1-" L .レ,应规定起始报告日期。报告中应包括如下内容:,a* 已进行的A组逐批检验的试验结果摘要,至少应表明合格批数、不合格批数和不合,格品所在的组。所有返修批的试验结果应加以标志、说明原因〇 ,b.已进行周期检验的C组试验结果摘要,应包括失效和失效模式……
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